在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對(duì)于過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來，對(duì)濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個(gè)難點(diǎn)，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。
高純氣體露點(diǎn)變送器是恒智電子科技多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價(jià)位變送器。
高純氣體露點(diǎn)變送器這款小巧的變送器擁有堅(jiān)固而獨(dú)立的傳感器，專門用來測量超高純氣體中的微量水分含量。它使用和安裝簡單，可選兩線制、三線制和危險(xiǎn)區(qū)域的型號(hào)，是一款*可自定義的產(chǎn)品，可以滿足各種特殊需求。
高純氣體露點(diǎn)變送器亮點(diǎn)：
測量下限-120°C露點(diǎn)(1ppbV)
測量穩(wěn)定，重復(fù)性好
高度集成的采樣裝置
模擬和數(shù)字輸出
安裝簡便
VCR過程接口
設(shè)計(jì)緊湊小巧
顯示/報(bào)警單元可選
高純氣體微量露點(diǎn)變送器
在許多高純氣體的應(yīng)用中，如半導(dǎo)體行業(yè)，氣體的殘留水分對(duì)于工藝操作的影響是至關(guān)重要。
根據(jù)以往的經(jīng)驗(yàn)，微量水分測量一直是一個(gè)難題，這需要使用復(fù)雜或昂貴的分析儀測量。現(xiàn)在，密析爾推出了一款簡單、經(jīng)濟(jì)的產(chǎn)品，可以在線測量露點(diǎn)達(dá)-120°C（小于1ppb）。
高純氣體露點(diǎn)變送器的優(yōu)勢在于密析爾阻抗傳感器生產(chǎn)和校準(zhǔn)的經(jīng)驗(yàn)和專長。工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)材料和制造工藝結(jié)合的低成本變送器，適用于大規(guī)模集成半導(dǎo)體制造廠或高純氣體管線中。
使用簡單：
這種獨(dú)立的變送器設(shè)計(jì)成可無縫接入純氣的過程應(yīng)用中，并可提供可靠的測量結(jié)果。
高純氣體露點(diǎn)變送器外殼是由冷拉不銹鋼制成，內(nèi)部采用0.25Raμm，以達(dá)到小的吸濕性，潔凈度達(dá)到清潔室標(biāo)準(zhǔn)。
該變送器交付完整的校準(zhǔn)和操作，并提供4-20mA的校準(zhǔn)輸出，能夠連接到密析爾的顯示模塊或中央控制系統(tǒng)。
該產(chǎn)品的設(shè)計(jì)具有小的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。這確保了過程應(yīng)用中的響應(yīng)速度，也保證了濕度測量時(shí)的響應(yīng)速度。傳感器密封墊圈可以在小壓力10-9torr內(nèi)工作，同時(shí)整個(gè)系統(tǒng)可承受的da壓力為240Barg(3480psi)。
安裝和操作簡便
高純氣體露點(diǎn)變送器安裝簡單。¼”外螺紋VCR氣體接口的間距為120mm，符合標(biāo)準(zhǔn)。整個(gè)產(chǎn)品的高度僅為150mm，重量小于500g。Pura是一個(gè)兩線或三線制的變送器，提供da的操作靈活性和12-28V直流電源的供電。
可選的顯示
假如應(yīng)用中需要顯示露點(diǎn)值或濕度值，高純氣體露點(diǎn)變送器可以提供兩種顯示。顯示器可以很容易連接，也可以作為Pura的電源。
服務(wù)與校準(zhǔn)
密析爾為想要少停機(jī)時(shí)間和設(shè)備可追溯性的用戶提供以下兩種服務(wù)：
傳感器替換–用戶可以簽訂一個(gè)有保障的合同，可以更換傳感器。當(dāng)傳感器出現(xiàn)問題時(shí)，可以把更換下來的傳感器返回密析爾檢測，從而實(shí)現(xiàn)零停機(jī)時(shí)間。
校準(zhǔn)–用戶將傳感器返回密析爾，密析爾會(huì)對(duì)返回的傳感器進(jìn)行檢查和校準(zhǔn)。這樣為過程中的傳感器就可以實(shí)現(xiàn)可追溯性。
陶瓷阻抗傳感器
高純氣體露點(diǎn)變送器采用阻抗技術(shù)，是基于水分子的導(dǎo)電性。密析爾的陶瓷濕度傳感器采用具有的厚薄膜技術(shù)。
在半導(dǎo)體化的陶瓷基底上，均勻的敷涂了金屬導(dǎo)電層。導(dǎo)電層之間的感濕層能感受到氣體樣品中的水蒸氣分壓。水氣分壓決定了水分子進(jìn)入感濕層的水分子的數(shù)量，即對(duì)應(yīng)于導(dǎo)電層之間的阻抗值。露點(diǎn)值和水氣分壓有一一對(duì)應(yīng)關(guān)系。經(jīng)過校驗(yàn)，阻抗值和露點(diǎn)值的對(duì)應(yīng)關(guān)系建立起來，被儲(chǔ)存在變送器的芯片中。
傳感器采用半導(dǎo)體極的陶瓷材料作為基底，給予傳感器*的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度和均勻特性。使密析爾濕度傳感器具備其他氧化鋁傳感器所*的穩(wěn)定性。
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